本設備用於8 吋、 12吋晶圓切割道瑕疵檢測，為8”及12“共用Chuck Table之系統設計，Chuck Table平台可作X-Y方向移動以及θ軸旋轉動作，由視覺系統自動對位並對切割道作取像檢查，以Die之防崩帶被侵毀(Die暗裂破壞)或污染為瑕疵判斷基準，經人工對瑕疵之確認及判定後，以Auto-Mapping方式記錄瑕疵位置，稼動率可達90%以上。